产品名称：电阻率测试仪/四探针半导体材料电阻率检测仪/四探针电阻率仪

电阻率测试仪/四探针半导体材料电阻率检测仪/四探针电阻率仪 型号：TDW-02

 本仪器按照半导体材料电阻率的及标准测试方法有关规定设计，它主要由电器测量部份（主机）及四探针探头组成。样品测试电流由高精宽的恒流源提供，随时可进行校准，以确保电阻率测量的准确度   
主要技术指标: 。
对0.1～199.9Ω*cm标准样片的测量误差不超过±5%。
（1）测量范围：可测量电阻率：0.1～199.9Ω*cm。
大电阻测量误差（按JJG508-87进行）：
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%
适合测量各种厚度的硅片，可测晶片直径（大）
园形Ф100mm           方形230×220mm
 （2）恒流源：
 输出电流：0.01～1mA连续可调，误差≦±0.5%。恒流精度：各档均优于±0.1%
（3）直流数字电压表
 测量范围：0.1～199.9mv    灵敏度：100μv   准确度：0.2%（±2个字）  
 当没有测量时，表上数字不归零属于正常，是其自身处于自动扫描状态
（4）供电电源：AC：  220V ±10%（保护隔离）     50/60HZ   功率2W
（5）四探针探头； a.钨钢探针或高速钢探针    b.间距1±0.01mm    
c.针尖绝缘电阻≥100mΩ  d.机械游移率≦1.0%  e.探针压力 12-16牛顿（总力）
（6） 使用环境：
 温度23±2℃，相对湿度≤80%  无较强的电场干扰    无强光直接照射
(7) 使用方法；
a. 使用仪器前将电源线、测试笔联接线与主机联接好，电源线插头插入～220V座插后，开启背板上的电源开关，此时前面板上的数字表、发光二极管都会亮起来。探针头压在被测单晶上，右边的表显示从1、4探针流入单晶的测量电流，左边的表显示电阻率或2、3探针间的电位差。电流大小通过旋转前面板右上方的电位器旋钮加以调节b.  校准设备：厚度小于3.98mm的（本公司提供厚度小于3.98mm的标准电流修正系数表）取与要备测试硅材料厚度相同的硅材料标准样块校准电阻率测试仪，测试厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一标准样块校准电阻率测试仪。 
c.测试: 用四探针接触硅材料，以探针压下三分之二为准，待仪器显示数字稳定即可.
 d． 校验：在测试过程中要求每隔2小时用标准样块校准一次设备
一般情况下,除了信号传输线的断裂引起的故障外, 针的维护主要包括针头的更换和针头  的  清理清洁工作
 维护后的安装及维护过程中,必须注意安装过程中的排线位置,按绿红黄黑（1234）位置排列