产品详情
  • 产品名称:椭圆偏振北京测厚仪

  • 产品型号:TD-SGC-2
  • 产品厂商:同德
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简单介绍:
椭圆偏振北京测厚仪 可用于测量单层非金属的所有镀膜的厚度测量。测量范围:1nm~4000nm 包含主机一台,全部USB接口全自动测量。同时测量镀膜和折射率多种数据处理方法软件。(不包含计算机) 椭圆偏振北京测厚仪
详情介绍:

椭圆偏振北京测厚仪

可用于测量单层非金属的所有镀膜的厚度测量。测量范围:1nm~4000nm 包含主机一台,全部USB接口全自动测量。同时测量镀膜和折射率多种数据处理方法软件。(不包含计算机)
详细介绍
o仪器测量精度:在10nm处误差为±0.5nm;
o光学中心高度:75㎜; 

椭圆偏振北京测厚仪
o允许样品尺寸直径:Φ10~Φ120㎜,厚度≤10㎜;
o外形尺寸:730 x230X 290;
o主机重量:30kg;测量范围:1nm~4000nm;
o测量小值:≤1nm;
o镀膜折射率范围:1.3 ~ 2.49
o入射角:40°~90°  误差≤0.05°;

椭圆偏振北京测厚仪 
o偏振器方位角范围:0°~180°;
仪器测量精度:在10nm处误差为±0.5nm; 光学中心高度:75㎜;
允许样品尺寸直径:Φ10~Φ120㎜,厚度≤10㎜;
外形尺寸:730 x230X 290;
主机重量:30kg;
偏振器步进角:0.0375°/步;

椭圆偏振北京测厚仪
本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分,外观参看右图。
1、 光源:采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是:光强大、光谱纯、波长稳定性好。
2、 接收器:采用光电倍增管⑤,把光讯号变为电讯号,经放大后输出至微机,由微机选择出消光位置的角度值。
3、 主机部分:除以上两项外,还有起偏组件②,样品台③,检偏组件④。
4、电子及通讯部分⑥:采集光强及对应的角度值并传输到计算机,再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。

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