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  • 产品名称:椭圆偏振测厚仪

  • 产品型号:TPY-1
  • 产品厂商:其它品牌
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简单介绍:
TPY-1椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节,自动测量薄膜厚度和折射率, 灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高。仪器软件具有生成表、查表以及**计算等功能,方便用户使用。
详情介绍:

椭圆偏振测厚仪 型号:TPY-1

仪器介绍
TPY-1椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节,自动测量薄膜厚度和折射率,度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长度高。仪器软件具有生成表、查表以及计算等功能,方便用户使用。
规格参数
测量范围薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1-10
测量厚度*小示值(nm)≤1
偏振器方位角范围0°- 180°读取分辨率为0.05°
测量膜厚度(nm)±1
折射率重复性度±0.01
入射角调节范围20°~90°度为0.05°
入射光波长(nm)632.8
光学中心高(mm)80
允许样品尺寸(mm)φ10-φ140,厚度≤15
外形尺寸(mm)590*390*290
主机重量(kg)25

 

配置表


型号
名称
数量
基本配置
TPY-1
椭圆偏振测厚仪主机
1台
TPY-1
主机电控箱
1套
 
二氧化硅膜样片
1片
TPY-1
椭圆偏振测厚仪专用软件
1套
需另配
计算机及打印机
1套
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