

传感器测量范围 |
400um |
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传感器针尖半径 |
5um/2um |
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传感器针尖材料 |
金刚石 |
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传感器触针测力 |
4mN/0.75mN |
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*大驱动行程 |
19mm/0.748inch |
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驱动速度 |
当取样长度=0.08mm Vt=0.25mm/s |
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当取样长度=0.25mm Vt=0.25mm/s |
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当取样长度=0.8mm Vt=0.5mm/s |
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当取样长度=2.5mm Vt=1mm/s |
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返回时 V=1mm/s |
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示值误差 |
≤±10% |
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示值重复性 |
≤6% |
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取样长度 |
0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm可选 |
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评定长度 |
1L-5L(可选),L为取样长度 |
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测量范围 |
自动 |
分辨力:0.001um、0.008um |
±50um |
分辨力:0.001um |
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±200um |
分辨力:0.008um |
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电源 |
锂离子充电电池1块/电源适配器 |
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外形尺寸和重量 |
155.4mm×75mm×56mm,约760g |
标准配置:
名称 |
数量 |
名称 |
数量 |
标准传感器 |
1支 |
传感器护套 |
1件 |
主机 |
1台 |
支架 |
1件 |
标准样板 |
1块 |
起子 |
1把 |
电源适配器 |
1个 |
通讯电缆 |
1根 |
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